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提高光切顯微鏡測量精度的結構改善-光學(xué)儀器技術(shù)




來(lái)源:yiyi
時(shí)間:2016-5-12 13:10:07

提高光切顯微鏡測量精度的結構改善-光學(xué)儀器技術(shù)

顯微物鏡

    光切顯微鏡測量微觀(guān)尺寸的范圍,一方面受物鏡分辨能力的
限制和儀器總的放大倍率的影響,這決定了所測量的較小極限即
測量精度;另一方面物鏡的成像深度(即景深)限制了可測的較大
極限。儀器的分辨能力和景深都與物鏡的數值孔徑有關(guān),因此為了
擴大儀器的測量范圍,應配備多對不同的放大倍率和數值孔徑的
顯微物鏡組。

    普通雙管顯微鏡測量范圍為0.8~80微米,比顯微干涉法和投
影光柵法范圍大得多,但有些微機械器件具有很大的高度尺寸(高
達幾百微米),所以有必要對顯微物鏡組進(jìn)行擴充。對同一物鏡組,
測量精度、測量范圍和視場(chǎng)直徑是相關(guān)的,更換物鏡時(shí)需同時(shí)兼顧
三方面的參數要求。

  2.光源與狹縫
  光源對讀數測量的精度影響很大。讀數時(shí)以圖像邊緣為測量
依據,所以狹縫的邊緣要整齊尖銳,兩半片要具有較好的平行度和
可調節性。此外,因為測量的圖像為一截面上的輪廓,所以得到的
光帶寬度不宜過(guò)大(一般控制在0.18 mm以下),如果窄光帶對應
的圖像亮度不夠,可將普通的照明光源換成小型激光器,圖像質(zhì)量
將會(huì )得到提高。

    在圖像測量中也同樣存在放大倍率與照明的改造設計問(wèn)題。

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